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電子、電路行業
發布時間:2020-08-31 14:27:38 閱讀次數:6359
電子、電路行業
適用範圍:電子元件、集成電路、半導體材料、液晶顯示器等生產用超純水。工藝流程:原水→原水箱→原水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→阻垢/軟化裝置→保安過濾器→高壓泵→反滲透→純水箱→輸送泵→混床/EDI→紫外除TOC→超純化→紫外殺菌→終端過濾→用水點→循環回純水箱
產水水質:電子級超純水中國國家標準(GB/T11446.1-1997)
工藝說明:
1、機械過濾器
主要用於去除水中鐵鏽、泥沙、藻類、懸浮物等雜質,降低水的濁度,使出水濁度小於0.5NTU,CODMN小於1.5mg/L,含鐵量小於0.05mg/L,SDI≤5。可通過控製閥隨時進行反洗、正洗,以衝洗掉其表麵的汙物,防止其堵塞,恢複其過濾能力。
2、活性碳過濾器
活性炭具有極強的吸附過濾性能,對水中的餘氯、異色、異味、有機物等具有很強的吸附作用。由於反滲透膜對餘氯、有機物十分敏感,所以必須配置活性炭吸附餘氯、有機物,使出水餘氯≤0.1mg/L,SDI≤4,滿足反滲透膜的給水要求。可通過隨時控製閥進行反洗,以衝洗掉其表麵的汙物,防止其堵塞,恢複其處理能力。
3、阻垢裝置(軟化器)
幾mg/L的阻垢劑就能防止幾百mg/L的碳酸鈣沉澱析出。其作用機理是阻垢劑在水中生成的長鏈的陰離子容易吸附在微小的碳酸鈣晶粒上,同時這種陰離子易於和CO32¬-的離子置換,這種置換發生在分散於水中的全部鈣離子層上,從而防止了碳酸鈣的析出。采用美國米頓羅計量泵自動加藥,計量準確、加藥可靠。加藥量約為3PPM。
目前在向日葵污APP下载安装中大部分都采用阻垢裝置,因為阻垢裝置比軟化器更可靠,同時運行費用低。
4、保安過濾器
在預處理後,高壓泵前配置保安過濾器,可以防止雜質顆粒等進入高壓泵內而損傷高壓泵和反滲透膜。采用外鬆內緊式的PP濾芯(帶骨架、強度好),水由外向內過濾,可以延長濾芯被堵塞的時間。上部具有排氣閥,可以防止空氣進入泵而損壞泵,下部具有排汙閥,可以隨時排掉截留的雜質。
5、反滲透裝置
反滲透技術是目前市場上比較成熟的一種脫鹽技術,也是市場應用比較廣泛、適用範圍比較大的水處理技術之一。能精密的濾除水中的細菌、病毒、金屬離子、鹽類、農藥及各種致癌物質,其工作壓力低、產水量大、脫鹽率高,易於維護。設計自動衝洗裝置,可延長其使用壽命。
6、混床裝置(EDI裝置)
就是將強酸型陽樹脂、強堿型陰樹脂按一定比例均勻混合在一起,用來去除水中殘餘的陰、陽離子,而樹脂交換下來上的H+、OH-訊速結合成水,達到純化水的目的。當其失效後,可通過配置的再生裝置進行處理,然後恢複其交換能力。
現在新工藝采用EDI裝置比較多,EDI及連續電去離子,可代替混床產超純水,其技術先進,不需酸堿再生,但一次性成本相對較高。
7、紫外除TOC
采用185nm波長的紫外線,氧化純水中的有機化合物,從而可將純水中的總有機碳濃度降低至極低水平。
8、超純化裝置
就是采用特殊的離子拋光技術來去除水中殘餘的陰、陽離子,從而使出水電阻達到18.25MΩ•CM以上。
9、紫外殺菌器
采用254nm長紫外線殺菌,其壽命長,殺菌效果好,而且其功耗小、不汙染水質,無殘留物,管道式安裝方便。是目前市場上比較先進、有效的殺菌方法之一。
10、終端過濾器
根據需要采用相應孔徑為的微孔濾膜,把微生物及顆粒物去除掉,保證給水無菌、無顆粒物,滿足電子用水要求。
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預 處 理:將自來水中的各類雜質進行初級處理,將懸浮物、大的顆粒物、泥沙和氧化物質去除,保護和優化反滲透。
反 滲 透:利用反滲透膜對水中的離子物質和大分子物質,病毒、微生物、細菌、有機物等進行截留性去除。
純化處理:采用特製的純化柱和超純化柱,對經膜去除後殘餘的微少離子物進行純化和超純化,使水中的離子水平降低到痕量水平。
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